◎ 科技日報記者 吳長鋒
記者2月26日從中國科學技術大學獲悉， 該校微電子學院左成傑教授研究團隊在世界上首次提出並實作了一種新型的耦合剪下模態聲表面波器件（簡稱X-SAW）， 利用兩個不同方向的剪下壓電系數相互耦合，在5GHz高頻實作了高達34%的機電耦合系數，以及高達650的品質因數（Q值）。相關成果2月23日發表在電子器件領域期刊【IEEE電子器件通訊】上 。
圖片來源： 中國科學技術大學
該項研究中實作的一個X-SAW諧振器工作在5GHz，機電耦合系數高達34%，對應的諧振器優值達到221。與近10年報道中4GHz以上的SAW諧振器比較， 工作在5GHz和6GHz的兩個X-SAW諧振器FoM值均為世界最高。
更重要的是，本研究成功發現了在同一個振動模態中可以耦合兩個或多個不同剪下壓電系數的可能性，並透過理論分析制定了實作這種耦合剪下模態的設計準則，為聲學器件領域開辟了一條全新的研究路徑。
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來源：科技日報
編輯：宋慈
稽核：朱麗
